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產(chǎn)品名稱：P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺

產(chǎn)品型號：

產(chǎn)品報價：

產(chǎn)品特點：P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點： XY 軸行程 18μm/ 軸；開 / 閉環(huán)可選；承載可達 0.5kg；真空版本可選；

更新日期：2025-02-24

P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺的詳細資料：

P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點

 XY 軸行程 18μm/ 軸

 開 / 閉環(huán)可選

 承載可達 0.5kg

 真空版本可選

技術(shù)參數(shù)：

型號

S-閉環(huán)

K-開環(huán)

P63.XY18S

P63.XY18K

單位

運動自由度

X、Y

X、Y


驅(qū)動控制

2路驅(qū)動，2路傳感

2路驅(qū)動


標稱行程范圍（0 ~+120 V）

16/軸

16/軸

μm±10%

Max.行程范圍（0~+150 V）

18/軸

18/軸

μm±10%

傳感器類型

SGS

-


閉/開環(huán)分辨率

0.6

0.2

nm

閉環(huán)線性度

0.3

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

≤15

≤15

μrad

空載諧振頻率

2

2

KHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

8

0.5

ms±20%

承載能力

0.5

0.5

kg

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)

鋁

鋁


出線長

1.5

1.5

m±10mm

P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 尺寸圖

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